2014-07-20

洁净度等级标准

ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。

根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)

空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um
ISO Class 1 10 2
ISO Class 2 100 24 10 4
ISO Class 3 1 000 237 102 35 8
ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83
ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
ISO Class 7 352 000 83 200 2 930
ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300
ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。

空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)

粒径、数值洁净度级别 尘埃最大允许数/立方米 微生物最大允许数
≥0.5um ≥5um 浮游菌/立方米 沉降菌/皿
100 级 3,500 0 5 1
10,000 级 350,000 2,000 100 3
100,000 级 3,500,000 20,000 500 10
300,000 级 10,500,000 60,000 - 15

美国联邦标准 209D 洁净室分级:(已停用)

空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 5 um
1 35 7.5 3 1
10 350 75 30 10
100 750 300 100
1000 1000 7
10000 10000 70
100000 10000 700

英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级:

空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.3um 0.5um 5um 10um 25 um
C 100 35 0
D 1000 350 0
E 10000 3500 0
F 3500 0
G 100000 35000 200 0
H 35000 200 0
J 350000 2000 450 0
K 3500000 20000 4500 500
L 200000 45000 5000
M 450000 50000

各种国际标准的比较:

美国联邦 美国联邦 英国标准 澳大利亚标准 法国标准 德国标准 国际标准 日本标准
标准 209D 标准 209E BS5295 AS1386 AFNORX44101 VDI2083 14644-1 JACA24
1 1
- 0 2 2
1 M1.5 C 0.035 - 1 3 3
10 M2.5 D 0.35 - 2 4 4
100 M3.5 E 3.5 4000 3 5 5
1000 M4.5 G 35 - 4 6 6
10000 M5.5 J 350 400000 5 7 7
100000 M6.5 K 3500 4000000 6 8 8
M 7 9 -

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